要参数:
材料
HRFZ-Si
外型
平行平板
zei大直径, mm
150
直径加工公差,mm
0
厚度公差, mm
+/0.1
通光口径, %
>=90
平行度, arc. min
3
表面质量, scr/dig
60/40
表面精细度, mm
+/-0.01和理想平板的差异
膜层
高透膜层