主要参数:
材料
THz grade 石英晶体 (z-cut)
和THz grad蓝宝石
外型
平行平板
直径公差, mm
+/-0.1
通光口径, %
>=90
平行度, arc. min
5
表面质量, scr/dig
60/40
表面精细度, mm
+/-0.01 和理想平板的偏差
膜层 (对于石英晶体)
高透膜