标准工艺 

· 批量生产的平均工艺时间小于10秒/循环*

· Al2O3, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, TiO2, ZrO2,AlN,TiN以及   各种金属

·  同一批次薄膜不均匀性<1% 1σ

   (Al2O3, WIW, WTW, B2B, 49pts, 5mm EE)**

基片加载

气动升降，手动装载

线性半自动装载

前驱体

液态，固态，气态，臭氧源

源瓶余量传感器，提供清洗和装源服务

4根独立的源管线，zei多加载8个前驱体源