原子层沉积技术ALD-P1000技术参数
大小不等的3D结构物件(例如:机械零件、玻璃或金属片、硬币、珠宝以及医疗植入物等)
通过装载工具进行手动装载
液态、固态、气态、臭氧源
源瓶余量传感器,提供清洗和装源服务
6根独立源管线,zei多加载10个前驱体源