等离子体增强型原子层...

等离子体增强型原子层沉积PEALD

产品型号:PEALD
品牌:Picosun
产品产地:芬兰
产品类型:进口
原制造商:Picosun
状态: 在售
厂商指导价格: 未提供
英文名称:PEALD
上市时间: 2011年
优点: 等离子体增强型原子层沉积PEALD介绍: PICOFLOW™ 扩散增强器 PICOFLOW™扩散增强器用于提升深沟槽、高深宽比样品的薄膜质量。同样适用于多孔、通孔、柔性样品,粉末及其他复杂纳米结构的样品。该装置兼容所有Picosun™ ALD设备。
参考成交价格: 100~200万元[人民币] 查中标价
基本参数
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厂家资料
Picosun
地址:Tietotie 3, FI-02150 Espoo Finland
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