美国ARRADIANCE台式原...
参数指标我要纠错


丰富配件：


多样品托盘：

l  多样品夹具，样品尺寸（8“, 6“, 4“）向下兼容。

l  多基片夹具，zei多同时容纳9片基片。


我要提交参数指标
相关原子层沉积系统（ALD）