主要特点:传承于畅销全球的ML10 Gold激光干涉仪,诞生于英国计量产品世家的又一惊世杰作,XL80激光干涉仪为业界提供了性能更为先进,应用更为广泛,更加轻巧便携的计量检测利器: 检测速度从每小时几个微米到每分钟240米(仍以分辨率0.001 um记数);采样频率从静态到每秒50000个数据点(仍以分辨率0.001 um记数);测量范围从数纳米的微观尺寸到80米的大尺寸测量;