XL系列激光干涉仪参数指标

技术参数：

XL80:

系统精度: ±0.5ppm (0~40 ℃整个工作环境范围)
激光稳频精度:±0.05ppm
分辨率:0.001 um
zei大测量速度:4.0m/sec
zei高采样频率:50KHz
测量范围: 0 - 80 metres
预热时间更短:~6分钟

XL30:

系统精度: ±1ppm (0~40 ℃整个工作环境范围)
激光稳频精度:±0.1ppm
分辨率:0.01 um
zei大测量速度:4.0m/sec
zei高采样频率:5KHz
测量范围: 0 - 30 metres
预热时间更短:~6分钟