API激光干涉仪参数指标

技术参数：

5D/6D标准型：
1. 线性：0.5ppm
2. 测量范围：40米（1D可选80米）
3. 偏摆角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%显示较大值
4. zei大范围：800角秒
5. 滚动角精度：1.0角秒
6. 直线度精度：（1.0+0.2/m）um或1%显示较大值
7. zei大范围：500um
8. 垂直度精度：1角秒
9. 温度：0.2摄氏度
10.湿度：5%
11.压力：1mmHg

5D/6D精密型：
1. 线性：0.2ppm
2. 测量范围：25米
3. 偏摆角和俯仰角的精度：（0.5+0.05/m）角秒或1%显示较大值
4. zei大范围：400角秒
5. 滚动角精度：0.5角秒
6. 直线度精度：（0.5+0.1/m）um或1%显示较大值
7. zei大范围：300um
8. 垂直度精度：0.5角秒
9. 温度：0.1摄氏度
10.湿度：3%
11.压力：0.3mmHg

5D/6D高精密型：
1. 线性：0.2ppm
2. 测量范围：根据用户要求而定
3. 偏摆角和俯仰角的精度：（0.2+0.02/m）角秒
4. zei大范围：500角秒
5. 滚动角精度：0.5角秒
6. 直线度精度：（0.2+0.05/m）um
7. zei大范围：100um
8. 垂直度精度：0.5角秒
9. 温度：0.1摄氏度
10.湿度：3%
11.压力：0.3mmHg