API新型XD激光干涉仪参数指标

技术参数：

五维（XD-5D）：
1. 线性精度：0.5ppm
2. 测量范围：40米（1维可选80米）
3. 线性分辨力：0.001um
4. 直线度精度：（1+0.2/m）um或1%显示值
5. zei大测量范围：+/-500um
6. 直线度测量距离：0-40m
7. 偏摆角和俯仰角精度：（1.0+0.1/m）或1%显示值
8. zei大测量范围：+/-800角秒
9. 垂直度精度：+/-1角秒
10. 温度精度：0.2摄氏度
11. 压力精度：1mmHg

(特注：API公司在中国设有测量中心，可承接测量任务）