皮米精度位移激光干涉...
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attocube公司生产的attoFPSenor系列位移激光干涉器充分满足了高分辨位移与定位的工业和科研需要,其紧凑的设计和稳定性可以在极端环境中使用,在极大的位移测量范围内,达到25pm的位移分辨率和10MHz的采样速率,应用范围遍及闭环扫描器校准、样品或模块位移、加工业、引擎位移探测等领域。


 


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