电动层析显微粒子成像...
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8.层析测量精密机械定位系统性能指标：

位移数据 行程 分辨率 精度
X-轴平移 120nn 0.05um +/-3um
y-轴平移 120mm 0.05um +/-3um
z-轴聚焦 20mm 0.05um +/-3um
样品台开口 84x70mm


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