部分技术参数：
垂直分辨率：0.1nm
水平光学分辨率：3300nm
zei大扫描高度：mm
zei大扫描面积：mm²

应用
汽车工业
工具和刀具
造纸与印刷
刑事侦察
摩擦与腐蚀
医疗器械
微电子工业