特点：一台设备上集成非接触式白光干涉形貌仪+高精度原子力显微镜
白光干涉
白光干涉能够进行高分辨率图像的扫描，对表面进行分析。两种工作模式-相移和白光扫描模式,能够高精度测量粗糙或者光滑的样品表面。
zei好的技术来实现高Z向分辨率
白光干涉法和相移两种模式实现Z方向的高分辨率。
快速图像处理系统达到400万像素
四色LED相机
更大的垂直测量范围达10毫米
150 mmx150mm马达控制平台。
样品粗糙度，粗糙表面高度抛光后的光洁度以及表面结构测量，如陶瓷、塑料和辊钢。
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