自动变焦三维表面测量仪InfiniteFocus G4的技术参数：

位移范围(X、Y、Z轴)：100×100×100mm

样品表面结构：表面形貌Ra＞10-15nm，Lc=2μm

zei大样品高度：100mm-240mm

zei大样品倾斜角：85°

zei大扫描高度：22mm

zei佳垂直分辨率：10nm

zei大扫描面积：10000mm2

zei大单一扫描范围：100mm

zei小测量粗糙度（Ra）：30nm

zei小测量粗糙度（Sa）：15nm

zei小测量半径：1μm

zei小测量角度：20°