InfiniteFocus SL光学三维刀具测量仪的部分技术参数：

位移范围（X/Y）:50mm×50mm(自动调节)

位移范围（Z）:130mm(26mm自动调节)

zei佳垂直分辨率：20nm

zei大扫描高度：25mm

zei大操作距离：17.5（5×物镜）

zei大扩展视野范围：2500mm2

zei大单一方向测量范围：50mm

zei小测量半径：2μm

zei小测量楔角：20°

zei小测量粗糙度（Ra）：80nm

zei小测量粗糙度（Sa）：50nm