三维表面形貌测量传感器IF-Sensor R25参数指标

光学三维在线测量仪IF-SensorR25的技术参数：

位移距离（Z）：26mm（自动调节）

zei大扫描高度：25mm

zei佳垂直分辨率：20nm

zei小测量半径：2μm

zei小测量楔角：20°

zei小测量粗糙度(Ra):80nm

zei小测量粗糙度(Sa):50nm

zei大测量倾斜角：87°