LuphoScan高速非接触式3D非球面光学面形测量系统参数指标

特征

LuphoScan平台能够轻松进行非球面、球面、平面和自由曲面的测量。 该仪器的主要特性包括高速测量、特殊表面的高灵活度测量（例如：拐点的轮廓或平坦的尖点），zei大物体直径可达420mm。 因为采用多波长干涉技术（MWLI®）传感器技术， 因此能够扫描各种表面类型如透明材料、金属部件和研磨表面。

测量精度

该系统使用了复杂的参考传感器以及特殊的基准框架概念， 能够确保zei高精度的测量结果， 精度可在±50nm以上。

高速测量
典型测量时间：30mm直径球面小于2分钟，130mm直径球面小于5分半钟。