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FocalSpec在线线共焦扫描仪-UULA参数指标

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FocalSpec在线线共焦扫描仪-UULA是适用于所有材料,亚微米级,自动精确测量的光学三维成像和测量系统。应用线白光共焦成像技术,可对现有技术难以检测的表面和形状进行自动化、高速、高精度的分析,如镜面,弯曲或多层透明物体;同时操作简便、测量精确、重复精度高。适用于研究、产品开发到生产、质量控制的全阶段;非常适合需要高精度,自动化测量的先进研发实验室和智能工厂。


FocalSpec在线线共焦扫描仪-UULA 技术参数:



LCI 1200测头
LCI 1600测头
Z-像素/解析度
0.55μm
0.99μm
Z-范围
2.80mm
5.5mm
X-像素/解析度
5.50μm
8.00μm
测量点数
2048 pixels
2048 pixels
线宽
11.26mm
16.16mm
检测速度
1500 lines/s
1500 lines/s
zei大采集速度
3072000  3D点/秒
3072000  3D点/秒


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