OptoTop® 高精度纳米级三维形貌仪_ 参数_指标_优点_优势_分析测试百科网 - 分析测试百科网

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参数指标

技术资料

感应度	白光共聚焦
测量范围Z*	300µm	1mm	2mm
解析度 Z*	12nm	25nm	75nm
侧向解析度	1.55µm	2µm	4µm
测量感应距离	11mm	12.7mm	16.4mm
测量频率	30 Hz, 100 Hz, 300 Hz, 1 kHzv
标准XY轴试验范围	60 x 60 mm
移动速度	0.1 - 10 mm/s
标准样品台大小	165 x 165 mm 或定制品

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