产品规格

扫描范围：0-180um（270um可选）

垂直分辨率：WSI：﹤0.5nm 

台阶高度重复性:﹤0.5%(1σ)

横向分辨率：0.2-4um（取决于物镜和FOV）

工作台面：510X405mm（程控）

尺寸：1200(w)X1250(D)X1900(H)