【技术特点】-- 三维台阶仪

主要特点：

1、常规的接触式轮廓仪和扫描探针显微镜技术的完美结合
2、双模式操作（针尖扫描和样品台扫描），即使在长程测量时也可以得到zei优化的小区域三维测图
3、针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，三维扫描范围从10μm X 10μm 到500μm X 500μm。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到50mm。
4、在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察
5、针尖扫描采用双光学传感器，同时拥有宽阔测量动态范围（zei大至500μm）及亚纳米级垂直分辨率　（zei小０.１nm ）
6、软件设置恒定微力接触
7、简单的2步关键操作，友好的软件操作界面

【技术特点对用户带来的好处】-- 三维台阶仪

【典型应用举例】-- 三维台阶仪