Dektak XT台阶仪参数指标

台阶仪Dektak XT能实现：

无可匹敌的性能，台阶高度重现性低于4埃
Single-arch设计提供具突破性的扫描稳定性
先进的“智能电子器件”设立了新低噪音基准
新硬件配置使数据采集时间缩短40%
64-bit，Vision64同步数据处理软件，使数据分析速度提高了10倍
频率空前，操作简易
直观的Vision64用户界面，操作简易
针尖自动校准系统，无与伦比的价值
布鲁克（Bruker）以实惠的配置实现zei高的性能
单传感器设计，提供单一平面上低作用和宽扫描范围
规格：
测量技术：探针轮廓仪DEKTAK XT
测量功能：二维表面轮廓测量/可选三维测量
样品视景：可选放大倍率，1to4mmFOV
探针传感器：低惯量传感器（LIS3）
探针压力：使用LIS3传感器：1至15mg
探针选项：探针曲率半径可选范围：50nm至25μm；高径比（HAR）针尖：10μm×2μm和200μm×20μm；可按客户要求定制针尖
样品X/Y载物台：手动X-Y平移：100mm(4英寸）；机动X-Y平移：150mm（6英寸）
样品旋转台：手动，360°旋转；机动，360°旋转
计算机系统：64-bit多核并行处理器，Windows7；Optional23英寸平板显示器
软件：Vision64操作及分析软件；应力测量软件；缝合软件；三维扫描成像软件
减震装置：减震装置可用
扫描长度范围：55mm（2英寸）
每次扫描数据点：zei多可达120000数据点
zei大样品厚度：50mm(2英寸）
zei大晶圆尺寸：200mm(8英寸）
台阶高度重现性：＜4埃，1sigma在1μm垂直范围下）
输入电压：100-240VAC，50-60Hz
温度范围，运行范围：20到25℃
湿度范围：≤80%，无冷凝
系统尺寸及重量：455mmW×550mmD×370mmH（17.9in.W×22.6in.D×14.5in.H)；34公斤（75磅）；附件：550mmL×585mmW×445mmH（21.6in.L×23in.E×17.5in.H)；21.7公斤（48磅）