技术参数
LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h
测量时间：5~10秒
测量原理：非接触、共聚焦
X/Y方向，平台移动范围：50mmX50mm，马达驱动，分辨率：0.3μm
Z方向测量范围：250μm，分辨率：2nm
物镜：10X、20X、50X、100X(可选)
计算机：高性能计算机控制系统，功能全面的软件，有拼接功能，
工作电源：100-240V, 50-60Hz, input<45W
材质：钢铁、橡胶、大理石
外型尺寸：710x270x330 mm (HxWxD)
重量：28KG