德国NanoFocus便携式激光共聚焦显微镜参数指标

技术参数 
LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h 
测量时间：5~10秒 
测量原理：非接触、共聚焦、可移动，可以检测大型的物体 
X/Y方向移动范围：50mmX50mm，马达驱动，X/Y方向分辨率：0.3μm 
Z方向移动范围：35mm 
Z方向测量范围：250μm，Z方向分辨率：< 10nm 
物镜：10X、20X、50X、100X(可选) 
计算机：高性能计算机控制系统，功能强大且全面的软件，有拼接功能 
工作电源：90-265 V, 50-60 Hz, input < 50 W（也可用电池做电源） 
材质：钢铁、橡胶、大理石 
外型尺寸：380*110*115mm 
重量：5.5KG（不含防震拉杆箱） 
洁净室等级: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)