气缸内壁激光共聚焦无...
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技术参数
LED光源:λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h
测量时间:5~10秒
测量原理:非接触、共聚焦
计算机:高性能计算机控制系统,功能全面的软件,有拼接功能,
工作电源:100-240V, 50-60Hz, input<45W
外型尺寸:高490mm,特殊转接环直径280mm
集成箱尺寸(包含主机,系统控制器,电子模块等):540*710*795mm
重量:11KG
洁净室等级: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)

物镜倍数10X20X50X
单次测量面积(um)1100*1100550*550220*220
NA值0.30.45/0.60.8
工作距离(mm)10.13.1/0.91
Z轴精度(nm)20<10<2
XY轴精度(um)1.90.950.38


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