综合加工精度 （正业条件 ）

±20μm

激光功率

11W@40kHz

激光波长

355nm

脉冲宽度

45ns-60ns@40kHz

频率范围

0-150kHz

能量控制

能量监视

对象

① zei大加工幅面

520mmX620mm

② 台面数量

单光束、单平台

尺寸(L×W×H)

1600mmx1864mmx1934mm

重量

2200kg