技术参数
Model | 463VSMH | 713VSMH |
X-Y行程 (mm) | 460X 305 | 711 X 610 |
外形尺寸(宽) | 102cm(40“) | 127cm(50“) |
外形尺寸(长) | 102cm(40“) | 163cm(64“) |
外形尺寸(高) | 173cm(68“) | 173cm(68“) |
包装重量 净重(kg) | 1043kg(2300 lbs) 726kg(1600 lbs) | 1630kg(3600 lbs) 1225kg(2700 lbs) |
X-Y 平台速度 | 500 mm (20“) 每秒 | |
X-Y 精度 | E2=(1.8+5L/1000)μm,L= 测量长度(mm) 用像素值小于2μm 的校正件在20℃下测量 | |
Z轴参数 | 行程200mm(8“),速度150mm(6“) 每秒重复精度±3μm(±0.00012“) 在高倍镜下 | |
Z精度 | E1=(1.5+5L/1000)μm,L= 测量长度(mm) 使用像素值小于2μm 的校正件在20℃下测量 | |
环境参数 | 温度范围:20±2°C,相对湿度:30% -80% | |
控制系统 | 基于windows 的工控系统 | |
电源参数 | 输入电压:115/230VAC, 输入电流:50/60Hz, 功率:1.0KW |
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