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Phasics SID4 波前分析仪参数指标

参数指标

型号	SID4	SID4-HR	SID4-DWIR	SID4-SWIR	SID4-NIR	SID4-UV	SID4 UV-HR
孔径	3.6 × 4.8 mm2	8.9 × 11.8 mm2	13.44 × 10.08 mm2	9.6 × 7.68 mm2	3.6 × 4.8 mm2	7.4 × 7.4 mm2	8.0 × 8.0 mm2
空间分辨率	29.6 μm	29.6 μm	68 μm	120 μm	29.6 μm	29.6 μm	32 μm
采样点/测量点	160 × 120	400 × 300	160 × 120	80 × 64	160 × 120	250 × 250	250 × 250
波长	400 nm ~ 1100 nm	400 nm ~ 1100 nm	3 ~ 5 μm , 8 ~ 14 μm	0.9 ~ 1.7 μm	1.5 ~ 1.6 μm	250 ~ 450 nm	190 ~ 400 nm
动态范围	> 100 μm	> 500 μm	N/A	~ 100 μm	> 100 μm	> 200 μm	> 200 μm
精度	10 nm RMS	15 nm RMS	75 nm RMS	10 nm RMS	> 15 nm RMS	20 nm RMS	10 nm
灵敏度	< 2 nm RMS	< 2 nm RMS	< 25 nm RMS	3 nm RMS (高增益） < 1 nm RMS (低增益）	< 11 nm RMS	2 nm RMS @ 250 nm, 2 μJ/cm2	0.5 nm
采样频率	> 100 fps	> 30 fps	> 50 fps	25/30/50/60 fps	60 fps	30 fps	30 fps
处理频率	10 Hz (高分辨率)	3 Hz (高分辨率)	20 Hz	> 10 Hz (高分辨率）	10 Hz	> 2 Hz (高分辨率）	1 Hz
尺寸	54 × 46 × 75.3 mm	54 × 46 × 79 mm	85 × 116 × 179 mm	50 × 50 × 90 mm	44 × 33 × 57.5 mm	53 × 63 × 83 mm	95 × 105 × 84 mm
重量	250 g	250 g	1.6 kg	300 g	250 g	450 g	900 g

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