TESCAN S8000G 高分辨镓离子型双束扫描电镜参数指标

（离子光学系统）视野范围：1 mm

（离子光学系统）探针电流：1 pA ~ 100 nA

（离子光学系统）分辨率：2.5 nm @ 30 kV

（离子光学系统）发射源：镓离子源

（电子光学系统）视野范围：7.0 mm @ WD=6 mm

（电子光学系统）探针电流：~ 400 nA

（电子光学系统）分辨率：0.9 nm @ 15 kV

(电子光学系统）发射源： 肖特基场发射源

仪器分类：FIB-SEM

二次电子图象分辨率：0.9nm@15kV

放大倍数：1-2,000,000x

电子光学：BrightBeam™ 电子光学镜筒

样品台：超大样品台选配

探测器：多探测器系统

背散射电子图像分辨率：2.0nm@30kV(低真空模式)

加速电压：50V-30kV