TESCAN VEGA3钨灯丝扫描电镜（LM）技术特点

【技术特点】-- TESCAN VEGA3钨灯丝扫描电镜（LM）

VEGA3 LM

VEGA3 LM是一款由计算机控制，可在高真空和低真空模式下工作全自动化钨灯丝扫描电子显微镜，具有突出的光学性能，清晰的数字化图像，成熟的操作软件，用户界面友好等特征。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作方式和完整的图像采集功能，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。

分析潜力：

• LM大样品室、5轴马达驱动样品台

• 样品室有11个接口，适用于安装EDX、EBSD、EBIC等探头

• 一流YAG 闪烁体探头

• 选配包括了各种探头于可选的配件

• 涡轮分子泵和机械泵同时工作，几分钟可达到仪器操作需要的真空状态

• 在可变真空模式下可观测不导电的样品（LMU型号）

• 可选的样品室减振方式

• 3维Metrology软件提供了三围重构与3维测量功能

VEGA3配置

VEGA3 LMH

高真空式SEM，配备有5轴马达驱动样品台，适用于观测小型导电样品。

VEGA3 LMU
可变真空式SEM，体现了高真空模式和低真空模式的优点。在低真空模式下可以观测非导电样品，不需要喷金。

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软件（标配）：

• 测量

• 图象处理

• 3维扫描

• 硬度测量

• 多图像校准

• 对象区域

• 自动关机时间

• 公差

• 编程软件

• 定位

• 投影面积

• EasySEMTM

软件（选配）：

根据实际配置和需求

配件（标配）：

• 二次电子探头（SE），ET型二次电子探头（YAG 闪烁体）

• 可移动式背散射电子探头（RBSE）*，可移动环行闪烁体类（YAG）具有高灵敏度和原子序数分辨率（0.1Z）

• 探针电流测量

• 压差式防碰撞报警装置

• 可观察样品室内部的红外线摄像头

• 冷台等，各种附件可供选择

技术规格：

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Electron Gun:	钨灯丝/LaB6
Resolution:	高真空（SE）： 3 nm @ 30 kV / 2 nm @ 30 kV 8 nm @ 3 kV / 5 nm @ 3 kV 低真空模式（LVSTD，BSE）： 3.5 nm @ 30 kV / 2.5 nm @ 30 kV
Magnification:	2~1,000,000x
Maximum Field of View:
Accelerating Voltage:	从200 V 至 30 kV
Probe Current:

关于TESCAN

TESCAN发源于全球zei大的电镜制造基地-捷克Brno，是电子显微镜及聚焦离子束系统领域全球知名的跨国公司，有超过60年的电子显微镜研发和制造历史，是扫描电子显微镜与拉曼光谱仪联用技术、聚焦离子束与飞行时间质谱仪联用技术以及氙等离子聚焦离子束技术的开拓者，也是行业领域的技术领导者。

【技术特点对用户带来的好处】-- TESCAN VEGA3钨灯丝扫描电镜（LM）

【典型应用举例】-- TESCAN VEGA3钨灯丝扫描电镜（LM）