• 超高的纳米分辨率：15keV下0.7nm，1keV下1nm

• 极限超高分辨率：1keV下1nm

背散射电子图像分辨率：1.6 nm @ 15keV (低真空模式)

二次电子图象分辨率：0.7 nm @ 15 keV

加速电压：zei大200nA

放大倍数：4-1,000,000x