自动操作

通过一次点击就可以进行自动灯丝加热和电子枪对中。众多的自动程序减少了用户的操作时间，并提供了操作的自动导航与自动化分析。通过内置脚本语言（Python）用户可以进入软件大多数功能，包括电镜控制、样品台导航、图像采集、处理与分析。通过脚本语言用户也可以自定义软件的自动操作。

用户界面友好的软件

• 用户界面有各种语言版本

• 多用户界面（包括了EasySEMTM模式）不同账户的权利使常规分析过程更快

• 图像文件管理与报告生成

• 内置的自动系统检查

• 通过局域网或互联网可实现电镜远程诊断

• 模块化软件体系结构

• 标准的软件模块包括了：测量工具、图像处理、对象区域等

• 选配软件包括了：颗粒度分析、三维表面重构等

TESCAN VEGA3超大样品室钨灯丝扫描电镜（GM）

分析潜力：

• GM样品室配备有5轴马达驱动样品台

• 多于20个接口，优化的几何设计更适合安装能谱仪（EDS）、波谱仪（WDX）、电子背散射衍射（EBSD）

• 一流YAG闪烁器式探头

• 可选各种探头和配件

• 涡轮分子泵和机械泵同时工作，几分钟即可达到仪器操作需要的真空状态

• 在可变真空模式下可观测不导电的样品（XMU型号）

• 可选样品室减振方式

• 3维Metrology软件提供了三维重构与3维测量功能

VEGA3配置：

GM型号适合观测大样品。


VEGA3 GMH

超大样品室，高真空模式，适用于观测大型导电材料。

VEGA3 GMU

可变真空式扫描电镜，体现了高真空模式和低真空模式的优点。在低真空模式下可以观测不导电的样品，不需要喷金。

软件（标配）：

• 测量

• 图象处理

• 3维扫描

• 硬度测量

• 多图像校准

• 对象区域

• 自动关机时间

• 公差

• 编程软件

• 定位

• 投影面积

• EasySEMTM

配件：

• 二次电子探头（SE），ET型二次电子探头（YAG 闪烁体）

• 可移动式背散射电子探头（RBSE）*，可移动环行闪烁体类（YAG）具有高灵敏度和原子序数分辨率（0.1Z）

• 低真空二次电子探头

• 探针电流测量

• 压差式防碰撞报警装置

• 可观察样品室内部的红外线摄像头

• 冷台等，各种配件可供选择

TESCAN发源于全球zei大的电镜制造基地-捷克Brno，是电子显微镜及聚焦离子束系统领域全球知名的跨国公司，有超过60年的电子显微镜研发和制造历史，是扫描电子显微镜与拉曼光谱仪联用技术、聚焦离子束与飞行时间质谱仪联用技术以及氙等离子聚焦离子束技术的开拓者，也是行业领域的技术领导者。