项目 | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | ||
二次电子分辨率 | 0.7 nm | 0.6 nm(加速电压 15 kV) | ||||
(加速电压15 kV) | 0.7 nm(着陆电压 1 kV)*3 | |||||
0.8 nm | ||||||
(着陆电压1 kV)*3 | ||||||
着陆电压 | 0.1~2 kV | 0.01~20 kV | ||||
放大倍率 | 20~1,000,000倍*4 | 20~2,000,000倍*4 | ||||
样品台 | 样品台控制 | 3轴马达台(可选5轴马达台) | 5轴马达驱动 | |||
移动范围 | X | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~110 mm | |
Y | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~80 mm | ||
R | 360° | |||||
T | -5~70° | |||||
Z | 1.5~30 mm | 1.5~40 mm | ||||
再现性 | - | - | - | ±0.5 µm以下含±0.5 µm |
*3 减速模式下观察
*4 以127 mm × 95 mm底片为基准的倍率