样品台

XYZ三轴自动，RT手动
-X: 45mm            （自动）
-Y: 45mm            （自动）
-Z: 5-50mm         （自动）
-R: 360°无限         （手动）
-T: ±90°               （手动）

电子枪

预对中钨灯丝，三极自动偏压，偏压与加速电压关联

加速电压

200V-30KV ，数字化高压电源，连续可调

探测器

E-T型-SE detector,

半导体固体BSE detector（选）

物镜光阑

四孔位可变光阑，20~100μm

分辨率

5nm @30KV  Se Image

  8nm@30KVBse Image

放大倍数

20-300,000 X

样品室

Se、Bse、EDS探测器接口， 4个其他接口

样品尺寸

Φ90mm  x 45mm（H）

工作距离

0-48mm

扫描光栅运动

电位移 ±50μm， 电旋转 0-360°

扫描模式

聚焦模式：320X240 像素 ，尺寸可变

TV模式：800x 600像素 

慢扫描模式，用于TV及聚焦模式。

照相模式：800X600、960X720、1024x768、1600x1200、3200x2400像素

图像格式

JPG、TIFF、bmp、PNG

真空系统

全自动真空系统，真空高压连锁安全保护
-涡轮分子泵    
-旋片式机械真空泵
-电动阀门系统：真空闸板阀、电磁阀等
-高真空优于7.5x10-3Pa  （从大气到达高真空小于3分钟）
-低真空模式 10-230Pa （选）

自动功能

亮度/对比度, 聚焦, 电子枪对中、偏压、饱和，物镜光阑摇摆对中，自动照相存储

软件系统

基于Win10，Virtuoso专用控制软件. 内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具。鼠标键盘操作。

主机尺寸/重量

410(W）x440（D）x 520（H）mm /65kg

电源

单相交流 220V 、50Hz、1KW

耗材附件

预对中灯丝，样品托，碳导电胶带，专用工具