样品台

五轴优中心，计算导航，五轴全自动控制

X: 120mm 

Y: 120mm

Z: 5-65mm

R: 360°无限

T: -20°~90°

电子枪

预对中钨灯丝 三极自动偏压

加速电压

200V-30KV （zei大发射电流190μA @ 30KV/zei大电子枪功率：5.7W)

探测器

ET-SED

物镜光阑

20μm  20μm  50μm 100μm  四位可变光阑

分辨率

4nm @30KV ( SEI)

放大倍数

10-300,000 X

样品室

内部尺寸 230（W）x210（D）x260（H)mm ，Se、Bse、EDS、WDS、EBSD、CL等探测器接口

zei大样品尺寸

Φ210mm X 65mm

工作距离

0-65mm 

扫描光栅运动

电位移 ±50μm， 电旋转 0-360°

扫描模式

聚焦模式：320X240 像素 ，尺寸可变

TV模式：800x 600像素 

慢扫描模式，用于TV及聚焦模式。

照相模式：800X600、960X720、1024x768、1600x1200、zei大3200x2400像素

动态聚焦，倾斜补偿

图像格式

JPG、TIFF、bmp、PNG

真空模式

高真空优于9x10-3Pa

真空系统

全自动真空系统，真空高压连锁安全保护（高真空时间小于3分钟）

-涡轮分子泵      
-旋片式机械真空泵    
-电动阀门系统：真空闸板阀、电磁阀等    

自动功能

亮度/对比度, 聚焦,   电子枪对中、偏压、饱和，物镜光阑摇摆对中

软件系统

基于Win8，Virtuoso1.1专用控制软件. 内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具。100%鼠标键盘操作。

主机尺寸/重量

800(W）x825（D）x 1500（H）mm /200kg

电源

单相交流 220V 、50Hz、1KW

耗材附件

预对中灯丝，样品托，碳导电胶带，导电银胶，专用工具

可选配置

四象限BSED | 样品室摄像机 | 升级LaB6/CeB6阴极 | 3D重构成像软件 | 拉曼光谱 | EDS能谱仪 | WDS波谱仪 | EBSD 电子背散射衍射 | CL 阴极荧光 |电子束曝光装置