韩国SEC SNE-4500M型...
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背散射电子图像分辨率：5nm@30KV

二次电子图象分辨率：5nm（30KV，SE Image）

加速电压：5~30kV~

放大倍数：100000x


技术参数：

电子光学系统分辨率5nm (30kV, 二次电子成像)
放大倍率20x~100,000x
加速电压1~30kV (1/5/10/15/20/30)
探测器二次电子探测器（SE）
电子枪预对中钨灯丝
       载台系统载台运动5轴系统 (X, Y, R, Z, T -手动)
X, Y-轴: 40mm / R-轴: 360°
Z-轴: 0~35mm / Tilt-轴 : 0~45°
* 影像偏移 : ±150μm
最大样品尺寸80mm（Φ）*35mm（H）
       成像系统自动功能自动启动，自动聚焦，自动消像散，自动调节对比与亮度
图像格式BMP, JPEG, PNG, TIFF
       真空系统真空模式高真空（低真空可选）
真空泵旋转式机械泵/涡轮式分子泵（全自动）
       尺寸与重量主机390(W)x380(D)x560(H)mm, 88kg
控制单元390(W)x325(D)x560(H)mm, 37kg
旋转泵400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg



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