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二、技术参数：(Product specifications)
分辨率（Resolution）
| 5nm (30kV, SE Image) | |
10nm (30kV, BSE Image) | ||
放大倍率（Magnification） | 30x~150,000x | |
加速电压（Accelerating Voltage） | 5kV to 30kV (5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -5 step) | |
图像检测 （Signal Detection）`
| 二次电子图像-(SEI)-Secondary Electron Image | |
背散射电子图像(BSEI)-Backscattered Electron Image | ||
* Multi Detector (SEI+BSEI) | ||
观察模式 Observation mode | Standard Mode | |
Auto mode | ||
电子枪系统（Electron Gun） | ||
灯丝类型（Filament type） | 预对中钨灯丝（Pre Centered tungsten filament Cartridge） | |
偏压系统（Bias voltage system） | 自动偏压方式（Automatic mode） | |
电子枪校正 （Electron gun alignment） | 手动方式（Manual mode） | |
透镜构成（Lens system） | ||
聚光镜（Focus Lens） | 2段式磁线圈透镜 (2-stage Electromagnetic Condenser Lens) | |
物镜（Objective Lens） | 1段式磁线圈透镜(1-stage Electromagnetic Objective Lens) | |
探测器类型(Detector type) | SE Detector/ BSE Detector | |
载物台系统( Stage System) | 自动或者手动（Auto or Manual） | |
载物台移动（Stage Traverse） | 5轴操控5 axis System， X, Y-axis : 40mm / R-axis : 360°,Z : 0~35mm / Tilt-axis : 0~45° | |
图像偏移（Image shift） | Image shift X, Y Image Shift (±150um) | |
样品zei大尺寸 （Max Sample size） | 高度35mm时zei大直径80mm 80mm in diameter, 30mm in height | |
图像扫描 （Image Scanning system） | 快速扫描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.) | |
低速扫描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.) | ||
图片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.) | ||
图片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.) 3(Photo Mode 2): 5120x3840 (Scan time: 120sec.) | ||
自动功能 （Automatic Function） | 自动启动(Auto start)，自动聚焦(Auto focus)，自动亮度对比度调节(Auto Brightness/Contrast) | |
图像存储格式(Image format) | BMP, JPEG, PNG,TIFF | |
数据显示(Data display) | 放大倍率(Magnification)，探测器类型(Detector type)，电压(Accelerating Voltage)，真空模式(Vacuum mode)，Logo(Text)， Date and time，Text marker，比例尺(scale bar)等 | |
真空系统（Vacuum system） | 全自动型/高真空模式+低真空模式(Fully Automatic Multi mode) （旋转式机械泵）Rotary Pump/100Liters/min （涡轮式分子泵） Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec 抽真空时间(pump down time)：2分钟以内 (less than 2 minutes) | |
操控系统(Control unit system) | 鼠标和键盘(Mouse ,Keyboard) | |
PC：台式电脑（Desk Top） OS : Microsoft Windows 7 CPU : Intel CoreTM i5 or High version Memory / HDD : 4GB / 500GB or High version USB 2.0 | ||
软件（Software function） | 图像文件打开，编辑，存储功能(Image file open, edit, Save function) 长度，面积，角度等测量功能(Length, area, angle measuring) | |
体积（ Volume） | 设备主机（Main Unit）-410(W)×660(D)× 600(H)mm……1set 控制主机（controller）-390(W)×315(D)×560(H)mm……1set 外置真空泵(External vacuum pump)-400(W)×160(D)×340(H)mm …1set | |
重量 （Weight） | 105kg | |
设备环境 （Equipment environment） | 温度(Temperature)：15℃~30℃ 电源(Power source)： Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz | |