JPK原子力显微镜(AFM/SPM) 参数指标

技术参数：

1.   采用PI平板压电扫描器，无管式压电管的bow效应，能同时进行光学显微镜与原子力显微镜量测
2.   zei大扫描范围：100×100×15微米（闭环）
3.   探针扫描设计，液相量测情况下不会损坏压电陶瓷
4.   分辨率：云母晶格图像（接触模式、高解析模式）
5.   针尖定位噪声水平（RMS） 
      大气条件下：垂直方向小于0.08nm，水平方向小于1nm（闭环）； 
      液相条件下：悬臂偏移小于0.3nm（弹性系数0.03N/m，温度20摄氏度）
6.   zei先进的电容式探针位置传感器，全程xy扫描线性化达0.03％，保证探针的重复定位与长时间稳定定位
7.   智能马达进针，漂移跟踪设计消除样品加热膨胀的影响
8.   xyz三轴扫描方向硬件线性化设计提供了高端的量测性能
9.   采用850nm波长激光源，不会影响匹配倒置光镜的光学量测
10. 探针弹性系数的热噪声方法自动校正