日立5300E环境多功能原子力显微镜_ 参数_指标_优点_优势

参数指标

分辨率	原子相
样品尺寸	20 mmφ、厚度10 mm (用配件厚度扩展至20 mm)
样品移动范围	X-Y stage 5 mm
扫描范围	标准： 20 µm□/1.5 µmH • 150 µm□/5 µmH • 15 µm□/1.5 µmH（闭环差控制）定位显微镜 • 简易显微镜（×200倍） • 光学显微镜（×1000倍） • 变焦显微镜（×700倍） • 金相显微镜（装有微分干渉）（×2000倍）
检测功能	AFM（接触模式） DFM（轻敲模式） PM（相位） FFM（摩擦） MFM（磁力） SIS模式 LM-FFM（横向摩擦） VE-AFM/DFM（粘弹性） Adhesion（吸附力） CURRENT（电流） SSRM（扩展抵抗） SNDM（非线性介电常数） PRM（压电响应）、KFM（表面电位）液体中AFM/DFM EC-AFM/STM NanoIndentation（硬度） Nano-TA（微区加热）
选配件	高温加热样品台加热冷却兼用样品台冷却真空温度控制

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