日立5100N通用多功能原子力显微镜_ 参数_指标_优点_优势

参数指标

检测方式	激光检测方式/自检测方式
样品尺寸	最大35 mmφ、厚度10 mm（专用配件厚度扩展至20 mm）
扫描范围	20 µm/1.5 µmH（水平/垂直） 100 µm/15 µmH 150 µm/5 µmH 110 µm/6 µmH（闭环差控制）
定位显微镜	搭载CCD的变焦显微镜光学显微镜金相显微镜（可以选配）
减震方式	台式减震台落地式减震台（可以选配）
操作画面	搭载流程图的操作导航系统
检测功能	DFM（dynamic force mode） CURRENT、SSRM、SNDM、PRM、KFM PM（相位模式）（可以选配）
扩展功能	AFM、STM、SIS、FFM、LM-FFM、VE-AFM/DFM、Adhision、CURRENT、KFM、PRM、SNDM、SSRM、EFM、MFM

相关扫描探针/原子力显微镜SPM/AFM