技术参数：

扫描器

XY扫描器

柔性制导闭环控制单模块扫描器

扫描范围10μm*10μm（可选50μm*50μm ，100μm*100μm）

平面偏移度:<2nm（40μm*40μm扫描）

Z扫描器

柔性制导强力扫描器

扫描范围12μm（可选25μm）

共振频率：>5kHz

表面成像噪声：0.03nm

样品台

样品尺寸： 100mm*100mm*20mm

样品重量：zei大500g

样品台移动范围：13mm*13mm