扫描隧道显微镜功能:恒流模式、恒高模式、I(Z)谱、I(V)谱
原子力显微镜功能:形貌成像、相位成像、磁力显微镜、静电力显微镜、扩展电阻成像、开尔文探针显微镜、力-距离曲线、振幅-距离曲线、I(V)谱
刻蚀功能:力刻蚀、电流刻蚀、矢量刻蚀