技术参数：
1、扫描方式：针尖扫描或样品扫描，AC模式，接触模式以及所有标准AFM模式

2、分辨率：
< 0.005 nm (Z方向)
< 0.015 nm (XY方向)
< 0.002 nm (XY方向) 低压模式

3、扫描范围: XY方向70um、Z方向70－120um，另外有30um和10um扫描器选配

4、扫描步进：70um扫描器＜1nm、10um扫描器＜0.1nm

5、扫描器厚度：7mm；重量：75克

6、zei大样品尺寸：半径16mm，另根据客户需求可以选配任何合理尺寸；



********************************探针*******************************