技术指标

样品尺寸: 标准12mmX12mm以内样品, zei大30mmX30mm样品；

样品台移动范围：12mmX12mm；

zei大样品厚度3.5mm；

扫描器XY向测量范围：70um（1.0nm分辨率）；

扫描器Z向测量范围：14um (0.2nm分辨率)；

zei大样品厚度3.5mm。