技术参数
分辨率：XY轴10nm，Z轴1.5nm
移动范围：XY轴100mm，Z轴50mm
补偿电压：±20V(针尖和样品相对于对电极之间的电压)
扫描电位：±10V(针尖和样品相对于参比电极之间的电位)
电流范围：±100pA-±2A
电位分辨率：305μV
电位精度:1mv