技术规格：

任意对准的设计模式

扫描范围：120×120×40μm或40×40×4μm（XYZ）

Z轴分辨率：Z分辨率<0.2nm，在120μmx120μm扫描范围时

Z轴分辨率：Z分辨率< 0.02nm，在40nmx40μm扫描范围时

固有噪声：<75fm√Hz

横向解析度：大范围扫描时<16nm，小扫描时<5nm

样本大小：不限制

特征：便携式、用户友好、价格实惠、大扫描区域（x，y，z）、低压运行