 一流的材料衬度
 超高分辨率
 广泛的分析信息
 简单的样品制备
 离子源工作稳定、长寿命
ORIONTM基本规格
分辨率 0.75 nm @ 45 kV @工作距离4 mm
1.0 nm @ 30 kV @工作距离4 mm
2.5 nm @ 10 kV @工作距离4 mm
放大倍数 100x - 1,000,000x
视野 1 mm - 100 nm
离子束 1 pA时<1 nm
离子束电流1 fA - 25 pA
离子源 氦气体场离子源
寿命 > 1000 小时
离子源电动对中
样品室 体积 400 mm3
基本真空度 2x10-7 Torr
接口板可定制
载物锁
图像探测器 Everhart-Thornley二次电子探测器
微通道板（选配）
透射电子探测器（选配）
样品台 5轴电动样品台，X、Y轴行程50 mm，Z轴行程12 mm，360º 旋转，0º到45º倾斜
真空系 统 无油无微粒低真空泵设计
磁悬浮涡轮分子泵
摄像机 三台监控摄像机——离子源观察、样品台观察、样品室观察
用户界面 两台20英寸平板显示器
图像2048 x 2048像素
系统主要参数存档功能

技术参数：