扫描探针操纵指标,室温下:
粗调进针范围: XY方向3mm,Z方向1.5mm
细调扫描范围:XY方向20um,Z方向2um
细调分辨率: XY方向0.2nm,Z方向0.04nm
透射电镜结构分辨率:
全温区优于0.2nm