总览
探测器晶体尺寸可选,分别为150 mm2,80 mm2,50 mm2,20 mm2
无论晶体面积或大或小,X-MaxN 的分辨率始终如一的好——并符合标准ISO15632:2012
无论晶体尺寸如何,能谱仪外管尺寸及在电镜中的位置完全一致,确保相同条件下,计数率的增加只源于晶体尺寸的增加
强大的低能端分析,所有晶体面积的能谱仪均保证由Be开始
与上一代X-Max同,无论SEM或FIB均使用同一界面
因其独特地外置型FET场效应管设计,X-MaxN 的分辨率完全不受晶体面积变化的影响始终如一,且保证全部具有优异的低能端检测性能
探测器外管尺寸相同,意味着相同条件下,计数率仅与晶体面积有关
保证所有晶体面积的能谱仪均具有优异的能量分辨率
出众的低能端分析性能,保证所有尺寸的能谱仪皆可探测到Be元素
使用大面积能谱仪意味着:
低束流下有足够的计数率
尽可能高的实现图像的可视性及准确性
无需为能谱分析改变SEM的条件
在相同束流下,极大地提高计数率
缩短采集时间
统计性更高
实现小束斑下的能谱分析
提高能谱检测的空间分辨率
尽可能体现高分辨电镜的优势
晶体面积越大,X-射线计数效率越高
相同条件下,晶体面积越大: